行業(yè)解決方案
半導體行業(yè)
生產(chǎn)實(shí)力
為更好服務(wù)半導體行業(yè)客戶(hù),國機密封設立了專(zhuān)業(yè)的生產(chǎn)車(chē)間,車(chē)間擁有萬(wàn)級潔凈度的生產(chǎn)區域和百級潔凈度的清洗包裝區域,可根據客戶(hù)需求定制個(gè)性化密封產(chǎn)品。
研發(fā)能力
研發(fā)設備方面,國機密封擁有國內唯一一家國家級橡塑密封研究平臺,擁有超過(guò)3500m2的中心實(shí)驗室,擁有全面的密封材料及密封產(chǎn)品評價(jià)能力,包括臺架測試,全工況老化測試及壽命評估能力等。
人才隊伍
研發(fā)團隊建設方面,國機密封擁有10名教授級高工,以及各級職稱(chēng)工程師115名。成立專(zhuān)為半導體行業(yè)服務(wù)的技術(shù)團隊,在材料選擇、尺寸選型、生產(chǎn)制造、售后服務(wù)等環(huán)節提供專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持。
特色產(chǎn)品
國機密封密封產(chǎn)品具有優(yōu)異的耐等離子、耐高溫、耐酸堿腐蝕等特點(diǎn),廣泛應用于芯片制造的三大制程。結合刻蝕、沉積、化學(xué)機械拋光、熱處理、清洗等工藝的不同特性,提供相應的密封解決方案。
針對刻蝕、沉積等對等離子體析出和耐化學(xué)腐蝕有要求的工藝,推薦使用70T01、70T02、75W01等型號產(chǎn)品。針對沉積、氧化、熱處理等對耐溫要求高的工藝,推薦使用70T01、5B01等型號產(chǎn)品。其他濕制程工藝推薦使用70B01等型號產(chǎn)品。(詳見(jiàn)產(chǎn)品宣傳手冊)